应用于半导体制程设备零组件之精密陶瓷零组件必须具结构强度好、耐高温、耐高压、精度好、平行度好、组织致密均匀、强度高。常见的陶瓷材料有氧化铝、氧化锆、氮化矽、碳化矽陶瓷等。