半导体光电业零组件

应用于半导体/光电制程设备零组件之精密陶瓷零组件，必须具结构强度好、耐高温、耐高压、精度好、平行度好、组织致密均匀、强度高。常见的陶瓷材料有氧化铝(Al2O3)、氧化锆(ZrO2)、石英(Quartz)、氮化矽(Si3N4)、碳化矽(SiC)陶瓷等。